北方华创“静电卡盘及半导体工艺设备”专利获授权

集微网消息，天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“静电卡盘及半导体工艺设备”的专利，授权公告号为CN112331607B，授权公告日为2024年3月26日，申请日为2020年10月28日。

本申请实施例提供了一种静电卡盘及半导体工艺设备。该静电卡盘用于设置在半导体工艺设备的工艺腔室内，静电卡盘包括用于承载并吸附待加工工件的绝缘层和设置于绝缘层内的电极组件，电极组件用于与一直流电源和射频电源电连接，通过控制直流电源将待加工工件吸附于绝缘层上，并通过射频电源向电极组件馈入射频，以使得到达绝缘层的射频能量相同。本申请实施例实现了射频装置直接将射频馈入到电极组件，避免了静电卡盘的多层结构之间电容差异对射频能量的影响，使得到达静电卡盘上表面的射频能量相同，从而大幅提高了待加工工件工艺结果的一致性。