北方华创“一种用于半导体装置的开盖机构及半导体设备”专利获授权

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天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“一种用于半导体装置的开盖机构及半导体设备”的专利,授权公告号为CN112151421B,授权公告日为2024年4月16日,申请日为2020年9月25日。

本申请实施例提供一种用于半导体装置的开盖机构及半导体设备,开盖机构包括抬升组件和翻转组件,其中,所述翻转组件与所述半导体装置的上盖可旋转连接,所述抬升组件与所述半导体装置的装置主体固定,所述抬升组件能够驱动所述翻转组件带动所述半导体装置的上盖沿竖直方向运动并使所述半导体装置的上盖能够完全脱离所述半导体装置的装置主体。本申请实施例提供的用于半导体装置的开盖机构及半导体设备能够有效避免在开启上盖的过程中对上盖或半导体装置的装置主体可能造成的损害。


责编: 赵碧莹
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