北方华创“半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备”专利获授权

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天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备”的专利,授权公告号为CN112864053B,授权公告日为2024年4月16日,申请日为2021年1月26日。


本发明公开一种半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备,所述传输腔室的上盖板(200)上开设有安装孔(210),所述安装孔(210)中密封设置有观察窗组件(100),所述观察窗组件(100)包括基座(110)、透明件(120)和压环(130);所述安装孔中设置有承载台(220),所述基座(110)呈环形,设置在所述承载台(220)上,并与所述承载台(220)连接;所述压环(130)与所述基座(110)连接,所述透明件(120)夹持于所述基座(110)与所述压环(130)之间。上述方案能够解决观察窗组件安装或者拆卸过程中容易损坏的问题。

责编: 赵碧莹
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