北方华创“半导体工艺炉”专利获授权

集微网消息，天眼查信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺炉”的专利，授权公告号CN115332125B ，授权公告日为2024年2月27日，申请日为2022年8月26日。 

本发明公开一种半导体工艺炉，涉及半导体制造技术领域。该半导体工艺炉包括包括炉体、炉门组件、第一进气组件和排气管，其中，炉体竖直设置，炉体具有工艺腔，炉体的底部具有开口，开口与工艺腔连通；炉门组件设置于炉体的底部，且炉门组件用于封盖开口，第一进气组件设置于炉体的底部侧，第一进气组件与工艺腔的连通，且第一进气组件用于向工艺腔内进气，排气管的一端与工艺腔的顶部连通，排气管的另一端与炉体外部连通，且排气管用于排出工艺腔内的气体。该方案能解决立式半导体工艺炉的炉门处容易被堆积的尾气腐蚀的问题。