“专精特新”专场 | 泓浒半导体：在晶圆传输赛道乘风破浪

泓浒半导体成立于2016年，是一家坚持核心技术自主开发的国家高新技术企业，至今获得专利超过百项，已经通过国家级专精特新“小巨人”企业认定，属于苏州市“独角兽”培育企业。公司主要产品包括设备前端模块（EFEM）、晶圆自动传片机（Sorter）、真空传送平台（VTM）、半导体精密组件等。泓浒半导体自研设备已经广泛运用在硅基集成电路制造和SiC、GaN化合物半导体以及第四代显示技术Micro LED等领域。

潜心钻研 开拓创新

作为业内领先的半导体晶圆传输设备制造商，泓浒半导体致力于晶圆传输设备及核心零部件国产化。公司核心技术团队均来自知名半导体晶圆厂和半导体设备公司，拥有丰富的半导体晶圆制造和自动传输设备研发从业经验。据泓浒（苏州）半导体科技有限公司执行总裁兼首席技术官林坚介绍：“晶圆传输设备几乎被国外垄断，目前国内像我们公司可以说是开拓了该领域国产化的全新赛道。”

半导体晶圆传送设备是用于在制造过程中移动半导体晶圆的一种装置，它可以实现高效、精确的物料运输。半导体晶圆传送设备通常由传送带、引导片和传感器等组成，其中传送带可以将晶圆有效地传送到目的地，引导片可以自动检测晶圆是否适合传送，保证晶圆在传送过程中能够稳定运行，而传感器则可以实时监控物料的位置、速度和数量，确保物料的准确传送。

精工打磨 塑造品质

在泓浒半导体的万级无尘室车间，洁净机器人正在进行产品生产，同步运行的还有真空传送设备。“我们现在半导体的设备里面大概三分之一是要在真空环境下用，那真空下要完成这些动作，就必须要有一个真空的传送模块。”林坚介绍，如果是在大气环境下，一般会选择吸住晶圆或是夹住晶圆。“但在真空里面这两种方案都不能用，只能靠自摩擦，所以这时候要求晶圆本身在传输过程中的震动必须做到十分微小。”目前，泓浒半导体成为了国内为数不多的能实现该功能的企业。

前路漫漫 深耕发展

成为“小巨人”企业几个月的时间内，泓浒半导体深刻地感受到了变化。“首先是政策的扶持，目前我们的新厂房正在紧锣密鼓建设中；其次是资本的青睐，今年我们完成了A+轮的融资；再一个就是客户认同的加强，通过实打实国家严格的筛选，最终能够入选‘小巨人’，也说明我们实力强劲。”

谈及未来的规划，林坚表示，泓浒半导体准备成立一个研究院，专门对半导体的机械手、半导体的传送部件进行深入研究。此外还会对设备的超低振动、14纳米以下的工艺做拓展性以及前瞻性的布局。“这样一来，也为未来我们国内能够突破这种更小尺寸的半导体设备制造技术，夯实好基础。”