天芯微首台先进制程硅基外延设备首发

作者： 魏健 2022-08-08
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集微网消息，8月8日，江苏天芯微半导体设备有限公司（以下简称“天芯微”）首台先进制程硅基外延设备首发仪式在无锡高新区举行。

据悉，天芯微成立于2019年8月，是先导集团旗下的一家集成电路高端装备制造商，团队核心人员来自世界知名半导体设备公司，拥有30多年半导体行业经验。公司以硅基外延技术为核心，致力于半导体前道关键工艺设备的研发与制造，为集成电路行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。

无锡高新区官方消息显示，天芯微此次发布的Epi 300 Compass AP硅基外延减压设备是半导体前道工艺中的关键设备，广泛应用于功率器件、28nm及以下先进制程的逻辑、存储器件的生产制造。

（校对/曹杰）

责编： 韩秀荣
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