精彩回顾 | ASEL天芯微参展SEMICON CHINA 2024

来源:ASEL天芯微 #天芯微# #半导体设备#
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3月20-22日,SEMICON CHINA 2024在上海新国际博览中心盛大开幕。在这一全球半导体行业的年度盛会上,ASEL天芯微作为先导集成电路产业园核心成员,展示了最新的产品技术,吸引诸多海内外产业伙伴的关注。

减压外延设备受关注,常压设备首次公开亮相

天芯微是国内少数真正通过完全自主设计、研发、制造硅基外延设备的企业之一,本次展会中,旗下减压外延设备Epi RP 300 Compass HP受到产业链上下游的关注。该设备针对28纳米及以下先进工艺制程的外延需求,应用于逻辑芯片、功率及存储器件的外延工艺,适用于硅、硅锗、硅磷等外延生长材料。目前已经获得多家12寸FAB厂的青睐,整体性能媲美国际主流产品,并在部分核心参数上领先。

天芯微Epi RP 300 Compass HP

作为天芯微Compass HP平台的第二款产品,硅基常压外延设备Epi ATM 300 Compass HP也迎来了展会首秀。该设备继承了Compass HP平台灵活调配生产配置的特性,凭借天芯微自研的压控FRC技术及独立多区进气模组,带来了更高效的沉积速率和更可观的膜厚及均一性。Epi ATM 300 Compass HP是适用于大硅片、功率器件和MEMS加工外延工艺的创新解决方案。

天芯微Epi RP 300 Compass HP

国产化及供应链成交流重点

致力于半导体高端前道设备的设计与制造,天芯微围绕“国产化”不断加强供应链的建设管理。此次SEMICON CHINA,天芯微邀请了诸多海内外零部件供应商伙伴交流探讨,携手建立可持续,共发展的供应商体系,持续推动中国半导体设备的发展和升级。

责编: 爱集微
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