七星电子单片退火系统进入14纳米制程工艺验证阶段

作者：刘洋 2016-12-23

来源：证券时报 #单片# #七星电子#

证券时报记者刘钊

　　近日，七星电子（002371）全资子公司北方微电子推出的Booster A630 plus 单片退火系统，成功进入中芯国际上海先进工艺生产线验证。据悉，这是北方微电子继NMC 612D硅刻蚀机之后，第二台进入14纳米工艺验证阶段的机台。

　　目前，世界范围内集成电路产业发展突飞猛进，工艺制程向更加精细化的方向发展，这对14纳米工艺设备提出了更严苛的挑战。随着北方微电子28纳米工艺设备陆续实现商用化，14纳米工艺设备开发也取得了突破性进展。本次推出的Booster A630 plus 单片退火系统，在28纳米技术基础上，通过设计优化，大幅提高了系统洁净度，提升了机台的可靠性。Booster A630 plus 单片退火系统具备双模加热、升温速率高、温度均匀性好及产能大等特点，工艺指标达到国际先进水平。

　　七星电子方面认为，公司作为中国集成电路高端装备的先行者，将深耕发展，开拓创新，加快先进工艺设备的开发速度，为我国集成电路产业健康发展作好装备配套支撑。