国内首台等离子去胶机问世丰富12寸封测设备产品线

作者：刘洋 2016-12-08

来源：爱集微 #中芯国际# #集成电路# #七星电子# #清洗设备# #最大限度#

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近日，七星电子半导体装备家族再添新丁，公司全资子公司北京北方微电子发布了新产品IDE300设备，应用于先进封装倒装的等离子去胶工艺。作为国内首台自主研发的等离子去胶设备，首批产品已成功交付客户。

此次北方微电子推出的IDE300设备，是在原有12吋刻蚀设备的技术基础上，通过逐步扩展工艺应用而开发的新产品。该机台可兼容8吋和12吋晶圆，腔室数量可以灵活配置，不但能满足用户对产线高效、低损、高均匀性的工艺要求，也最大限度的满足了其灵活的产品及产能配置要求。

作为先进封装Bumping工艺的必备设备，等离子去胶设备丰富了公司在12吋先进集成电路制造设备领域的产品线。

目前，北方微电子有刻蚀机、PVD和CVD三大类产品，可应用于集成电路制造、先进封装、半导体照明和微机电系统功率器件四大领域。该公司为下游集成电路制造厂商提供集成电路制造装备，包括氧化设备、清洗设备、刻蚀机、PVD等，主要客户为中芯国际、武汉新芯，上海华力微电子等。其中，对武汉新芯和中芯国际已实现了小批量供货，部分产品被客户认证为Baseline机台，伴随着包括上述两家FAB厂在内的下游客户的扩产计划，以及公司设备产品逐步替代进口承接订单的进程，公司集成电路制造设备产品的出货量将增加。

七星电子今年第三季度财报显示，2016年第三季度营业收入环比上季度增长69.69%；归属于上市公司股东的净利润6277万元，同比增长144.82%，半导体及元件行业平均净利润增长率32.43%，公司第三季度净利润环比上季度增长109.21%。今年1-9月实现营业收入10.38亿元，同比增长42.13%，半导体及元件行业平均营业收入增长率为38.65%。