国内首台等离子去胶机在七星电子面世

　　近日，七星电子（002371）半导体装备家族再添新丁，公司全资子公司北京北方微电子发布了新产品IDE300设备，应用于先进封装倒装的等离子去胶工艺。作为国内首台自主研发的等离子去胶设备，首批产品已成功交付客户。

　　此次北方微电子推出的IDE300设备，是在原有12吋刻蚀设备的技术基础上，通过逐步扩展工艺应用而开发的新产品。该机台可兼容8吋和12吋晶圆，腔室数量可以灵活配置，不但能满足用户对产线高效、低损、高均匀性的工艺要求，也最大限度的满足了其灵活的产品及产能配置要求。

　　作为先进封装Bumping工艺的必备设备，等离子去胶设备丰富了公司在12吋先进集成电路制造设备领域的产品线。