（文/罗叶馨梅）10月21日，华海清科688120.SH）公告称，公司全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机已批量交付国内多家集成电路制造头部企业。这标志着华海清科离子注入装备正式进入规模化应用提速阶段。
公司表示，本次批量交付不仅反映出客户对华海清科产品性能与研发能力的高度认可，也彰显了公司在高端离子注入装备国产化进程中的技术实力与战略决心。
据了解，华海清科自布局离子注入装备以来进展迅速，产品体系不断完善。从大束流离子注入机系列到正在加速推出的高能离子注入机系列，形成了覆盖逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS（图像传感器）及硅片制造等多领域工艺需求的完整产品矩阵。
在产品性能方面，华海清科最新一代大束流离子注入机在置换率、稳定性和工艺匹配度等方面已与国际领先竞争对手达到同一水平，能够满足先进制程对离子注入均匀性与精准度的严苛要求。目前，该系列装备已在多家客户端顺利通过验证，并凭借卓越性能获得重复订单。
公司持续推进“装备+服务”平台化战略，产品线已覆盖CMP、离子注入、减薄、划切、边缘抛光、湿法等关键装备领域，并配套提供晶圆再生与耗材维保服务，构建了完整的工艺解决方案体系。
华海清科表示，未来将持续推进技术创新与研发投入，为半导体产业提供更高端、更先进的装备与工艺集成解决方案，与产业链伙伴共同推动自主可控的半导体产业生态建设，助力产业高质量发展。
（校对/秋贤）
