12月24日，华海清科发布公告称，公司和/或公司全资子公司华海清科（上海）半导体有限公司（以下简称“华海清科上海”）拟合计使用自有资金不超过100,450万元，收购公司参股子公司芯嵛半导体（上海）有限公司（以下简称“芯嵛公司”或“标的公司”）剩余82%的股权，本次交易完成后，芯嵛公司将成为公司全资子公司。
本次交易的股权转让方包括自然人CHEN WEI及上海凯城半导体科技合伙企业（有限合伙）、上海科技创业投资（集团）有限公司、上海浦东海望集成电路产业私募基金合伙企业（有限合伙）、中小海望（上海）私募基金合伙企业（有限合伙）、苏州鋆望创芯肆号投资合伙企业（有限合伙）、RIGHT DIRECT INVESTMENTS LIMITED、湖州庆芯科技发展合伙企业（有限合伙）共计8方。
本次交易以具有证券期货相关业务资格的评估机构出具并经公司国有资产管理部门备案的股权评估报告结论为基础，确定芯嵛公司100%股权的整体价格为122,500万元，交易价格与评估截止日芯嵛公司所有者权益账面值相比的增值率为1,541.43%，华海清科和/或华海清科上海将按照上述芯嵛公司整体估值以人民币100,450万元收购公司参股子公司芯嵛公司剩余82%的股权。
芯嵛公司主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售，目前实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证。核心技术团队专注于离子注入行业30多年，具有丰富的离子注入行业经验，在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数，并对设备核心模块离子束流系统的传输路径进行了升级改进，使得芯嵛公司目前的产品较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优，且设备零部件的国产化率更高。
离子注入设备涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学，理论门槛高，系统集成难度大。根据SEMI数据，在全球及国内市场中，超过九成的设备仍由美国应用材料公司、美国亚舍立公司供应，市场集中度较高。目前，根据公开信息，国内开展离子注入设备研发和生产的公司包括芯嵛公司、北京烁科中科信电子装备有限公司、上海凯世通半导体股份有限公司和青岛四方思锐智能技术有限公司等。
近年来，中国集成电路产业在市场需求拉动和政策支持下，产业规模迅速增 长。根据SEMI的数据，2025年全球12寸晶圆厂设备资本支出强度预计提升，有望达到1,165亿美元，同比增长20%；且2026年、2027年有望达到1,305亿美元、1,370亿美元。具体到中国市场，2022年、2023年中国半导体设备市场规模分别达到282.7亿美元、356.97亿美元，增速明显高于全球整体情况。离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备之一，离子注入设备销售额占半导体工艺设备整体销售规模的比重约为3-5%，市场前景广阔。
据介绍，芯嵛公司目前尚处于亏损状态，并且预计未来短期内仍将持续亏损，华海清科表示，本次收购完成后公司将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发，同时公司本次采用现金方式支付转让对价，公司股本规模不因本次收购交易发生变化，因此，本次收购完成后，公司原有业务的每股收益将被新增业务板块摊薄。
