天眼查显示，江苏鑫华半导体科技股份有限公司“一种低成本高纯度合成石英砂的制备方法”专利公布，申请公布日为2024年9月24日，申请公布号为CN118684232A。
本发明涉及半导体级的石英坩埚、石英砂或石英玻璃技术领域，具体涉及一种低成本高纯度合成石英砂的制备方法。本发明针对高纯合成石英砂正硅酸酯类等化合物原材料价格昂贵的主要挑战，使用廉价碱金属硅酸盐作为替代原材料大幅度降低高纯合成石英的成本。此外，对于设备简单可控的常温常压工艺，可以应用于大规模的工业生产中。主要包括以下步骤：首先，将碱金属硅酸盐用高纯水稀释，随后加入除杂剂除去杂质元素并通过离子交换去除钠离子；其次，将溶胶静置并老化获得湿凝胶；最后通过常温常压干燥、破碎以及高温焙烧获得高纯合成石英砂。
