8月30日，至纯科技发布半年度业绩报告称，2024年上半年，公司实现营业收入15.28亿元，同比增长3.23%。归属于上市公司股东的净利润为7374.34万元，同比下降32.19%。
至纯科技称，公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前湿法设备在 28 纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微也已取得部分工艺订单。2024 年上半年，至纯科技半导体制程设备新签订单达6.26亿元，较去年同期实现了大幅增长，尤其在高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。
目前，至纯科技高端产品包括 SPM 高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备取得突破，并交付给多家国内主流晶圆厂，其中至微的 S300 SPM 机台单设备在用户量产线上持续稳定运行，是高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。以支持设备为主的系统集成业务仍保持持续增长，公司已成为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，目前支持设备业务量接近系统集成业务总量的 40%，有效替代并改变了原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，公司系统集成及支持设备已经能够实现 ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，核心技术强于国内竞争者，在用户应用需求牵引下开发的个别功能超越国际品牌。核心客户均为行业一线集成电路制造企业如中芯国际、华虹、上海华力、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。
在电子材料方面，至纯科技为客户提供部件材料与专业服务，涵盖设备零部件的供应、大宗气站服务、部件清洗服务、晶圆再生服务、晶圆工厂驻厂服务等。大宗气站的新业务拓展进程顺利。由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化的 12 英寸晶圆对应 28 纳米及以上的大宗气体供应工厂指标完全达标，报告期内持续稳定运行，成功打破了半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局，实现了该制程节点国内自主大宗气站零的突破。目前公司第二座大宗气站已经在报告期内已进入运营阶段。
