奕斯伟“一种外延工艺处理设备及其清洁方法”专利公布

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据天眼查显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司“一种外延工艺处理设备及其清洁方法”专利公布,申请公布日为2024年8月9日,申请公布号为        CN118461132A。

本公开提供一种外延工艺处理设备及其清洁方法,该设备包括装载锁闭腔室、缓冲腔室、外延反应腔室、尾气监测机构及控制机构,尾气监测机构用于分别获取装载锁闭腔室、缓冲腔室和外延反应腔室中各腔室的尾气信息,并基于尾气信息,判断装载锁闭腔室、缓冲腔室和外延反应腔室各个腔室的腔室环境状态,尾气信息包括颗粒物尺寸、尾气组成成分、尾气温度中的至少一项;控制机构用于基于腔室环境状态,按照预设的预处理操作标准,控制对各腔室进行对应的预处理操作。本公开提供的外延工艺处理设备及其清洁方法,能够及时监控外延工艺处理设备各个单元的颗粒状态,并做出调整,以减少损失。

责编: 赵碧莹
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