8月2日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称：中微公司）举行“20周年盛会华章暨临港基地落成庆典”。庆典现场宣布，中微公司临港产业化基地宣布正式启用。
（来源：中微公司）
中微公司消息显示，临港产业化基地占地约157亩、总建筑面积约18万平方米，配备行业领先的实验室、业界高标准的洁净室、先进的生产车间及智能化立体仓库等设施，可实现生产全程数字化、智能化管理，从而为公司进一步强化生产能力、研发能力和科技创新水平提供了有力支撑。
据悉，中微半导体设备（上海）股份有限公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户先进工艺的众多刻蚀应用，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据优势地位。
此外，中微公司官方消息指出，随着临港产业化基地的全面投入使用，中微公司的未来发展蓝图正徐徐展开。2023年7月，14万平方米的中微公司南昌生产研发基地落成并投入使用；目前，位于滴水湖畔的中微临港总部暨研发大楼也正在建设中，建成后占地面积约10万平方米。未来，中微公司的生产和研发基地总面积将达到约45万平方米，为今后的大发展夯实基础。（校对/刘志洋）
