6月18日，苏州佑伦真空设备科技有限公司与东南大学产学研合作签约暨研究生实践基地揭牌活动举行。
据苏州工业园区科技招商中心消息，此次佑伦真空与东南大学合作开发“集成电路晶圆传输双叉臂真空机械手”“集成电路薄膜沉积12寸晶圆VTM搬运平台”“集成电路12寸SMIF晶圆装载与检测集成装置”，一方面解决核心部件卡脖子的问题，另一方面加快了佑伦真空在集成电路产业链中的战略布局。东南大学研究生实践基地的揭牌开启了科研与教学协同发展的应用人才培养新模式，不仅提高企业的核心竞争力，同时也为东南大学科研团队提供了实践机会。
佑伦真空于2016年落户苏州工业园区，是一家专注半导体薄膜沉积装备的开发和应用的企业。主要从事PVD真空蒸发镀膜设备的研发和生产，拥有10多个机种90多个系列设备，产品广泛应用于LED芯片（Micro LED、Micro OLED等）、半导体（分立器件、功率器件、集成电路）、光学膜（光刻机光栅镀膜和激光芯片镀膜）、太阳能、科研等领域。此外，该公司正在积极布局PVD磁控溅射设备和CVD（化学气相沉积）设备的研发，进一步拓展薄膜沉积工艺设备在集成电路、新能源等领域的应用延展。（校对/韩秀荣）
