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集微网消息，3月19日，芯源微上海临港厂区竣工投产仪式暨新产品发布仪式在新片区举行。
芯源微上海临港厂区正式竣工投产
据悉，上海芯源微同步发布自主研发的首款高端设备——KCE前道单片式化学清洗机。该款机型具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能、高智能化等优势，自研16 champer高产能架构，工艺覆盖率可以达到80%以上，并且适配高温SPM工艺。目前已为近十家客户进行了Wafer Demo测试，多项工艺水平达到业界领先水平。（校对/韩秀荣）
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