沈阳发布2022年“揭榜挂帅”项目榜单，三大集成电路领域项目在列

集微网消息，7月28日，沈阳市科学技术局发布2022年关键技术攻关“揭榜挂帅”项目榜单，此次共遴选43项“揭榜挂帅”项目榜单对外张榜发布，涵盖航空航天、集成电路、人工智能及机器人、新材料、新能源汽车等多领域。

其中，在集成电路领域，包括3个项目，分别为新型智能可穿戴柔性电子微纳集成系统关键技术攻关、晶圆表面在线工艺缺陷检测软件关键技术攻关、真空干泵用高效屏蔽电机关键技术攻关。

以下是项目具体要求：

新型智能可穿戴柔性电子微纳集成系统关键技术攻关

针对目前新型智能可穿戴监测设备所用的核心微电子集成系统难以实现柔性弯折、延展，造成其难以实现随体、随形、轻薄无感化贴敷穿戴的问题，围绕可穿戴设备需求，开展基于聚合物衬底的柔性集成电路芯片设计、多维仿真和制备技术的研发以及基于硅基衬底的柔性集成电路芯片可靠性检测技术研究，突破柔性芯片设计和制备关键核心技术，研制新型智能可穿戴监测设备所需的柔性电子微纳集成系统，并开展试验验证，形成产品。

晶圆表面在线工艺缺陷检测软件关键技术攻关

针对涂胶显影机工艺缺陷导致的良率下降问题，开发晶圆表面在线工艺缺陷检测软件，能有效识别微尘、工序残留物、研磨缺陷、晶体缺陷、划痕缺陷等晶圆表面常见工艺缺陷，同时具备表面 EBR、Notch 位置检测、Golden Wafer 制作功能；整体系统具有友好交互性、灵活扩展性，具备配方生成、管理、结果查看分析、系统维护、报警管理、SEMI 协议通讯等功能，可实现集成电路生产工序中快速精准的缺陷检测、分析和存储，从而提升产品良率。

真空干泵用高效屏蔽电机关键技术攻关

（1）真空环境下电机定子环氧树脂灌封技术开发：传统屏蔽套电机在运行过程中易产生涡流损耗，为进一步提升电机效率，国际上率先使用环氧灌封技术予以替代，但工艺技术的实施难度较大。

（2）屏蔽高效电机的电磁设计：需要优化设计，降低能耗，且性能指标满足真空干泵需求。

（3）电机真空密封阻燃结构设计：集成电路工艺环境对电机安全提出了较高要求，电机整机及引线等附属结构需符合 SEMI标准、真空密封和阻燃等要求。

（校对/魏健）