研究机构TECHCET日前发布报告，预测2022年全球电子气体市场规模将达到约68亿美元，同比增速达到8%，并预计到2026年，电子气体市场规模将达到每年90亿美元。
TECHCET称，市场增长动能主要源于特种气体，先进制程逻辑、存储产品工艺复杂，工序增加，带动刻蚀气、光刻气等各类特种气体需求，预计这一细分市场增速今年将达到10%。
TECHCET警告称，在供应方面，除氖气外，氦气也正遭受俄乌冲突影响，加之其他产区的生产、储运问题，使供应链进一步绷紧。
展望未来数年，随着全球新建晶圆产能陆续开出，三氟化氮 (NF3)、六氟化钨 (WF6) 、乙硼烷 (B2H6) 等关键气体供需也将随之紧张，TECHCET特别指出，用于工艺腔室清洁的NF3可能出现供不应求。（校对/Aileen）
