普迪飞Exensio AIM Solution网络研讨会报名开启

Exensio AIM 解决方案网络研讨会：制造工艺异常的自动检测

时间：2021年9月29日  08:00 - 09:00

普迪飞Exensio Process Control解决方案的产品经理Kazuki Kunitoshi将在线为您介绍ETP(Equipment Trouble Protection)的相关内容。

内容介绍 

几乎所有半导体制造商都部署了先进的工艺控制FDC（故障检测和分类）系统，以提高器件质量、防止偏移并降低制造成本。然而，这些方法通常需要领域专家(SME) 来鉴别要从 FDC 传感器中提取和控制的关键要素。

普迪飞通过利用大数据技术、人工智能和机器学习，开发了一种解决方案，可以通过查看整个时间序列跟踪数据（trace data）来自动检测制造过程中的异常。这便是易于使用的设备故障保护(Equipment Trouble Protection，简称ETP) 解决方案，它需要最少的资源和 SME 来部署，并能提供一种更有效的方法来保护和检测设备以及工艺偏移。

通过该网络研讨会，您将学到：

机器学习如何使用传感器跟踪数据在设备故障之前发现设备问题

ETP 如何改进设备控制计划并降低生产线的良率损失

ETP 如何在设备故障之前预测故障和设备事件，减少器件报废并改进预防性维护

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