2026年09月17日，中信证券发布《关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度持续督导跟踪报告》，中信证券作为恒运昌科创板上市的保荐人，通过查阅制度文件、现场检查、访谈高管等方式履行持续督导职责，2026年9月7日已完成对恒运昌的现场检查。
报告显示，本持续督导期间，保荐人未发现恒运昌存在重大问题及重大违规事项，核心竞争力未发生重大不利变化，募集资金使用合规，进度与原计划基本一致；公司控股股东、实际控制人、董事和高级管理人员持股数量未发生变化，所持股份不存在质押、冻结及减持情况，无新增业务。
财务数据方面，2026年上半年恒运昌实现营业收入27836.07万元，同比下降8.45%；归属于上市公司股东的净利润5235.05万元，同比下降24.51%；扣非净利润5033.52万元，同比下降22.28%；经营活动产生的现金流量净额3319.72万元，同比转正。2026年6月末，公司归属于上市公司股东的净资产221309.10万元，较上年末增长176.55%；总资产233895.87万元，较上年末增长159.57%。基本每股收益0.81元，同比下降40.88%；研发投入合计4575.24万元，同比增长5.64%，研发投入占营业收入比例为16.44%，较上年同期提升2.2个百分点。
核心竞争力方面，恒运昌是国内极少数实现批量交付半导体级等离子体射频电源系统的企业，已批量供货拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商，通过中芯国际等龙头晶圆厂准入审核；已推出三代等离子体射频电源系统产品，打破海外厂商垄断，第四代可支撑5纳米及以下制程的Cedar系列部分机型已进入小批量试产阶段；拥有已授权发明专利144项，在申请发明专利126项，建立了产学研一体化研发机制，核心团队拥有二十年以上行业从业经验。
研发进展方面，2026年上半年公司共推进15项在研项目，预计总投资规模合计33732.17万元，累计投入22088.19万元。其中Aspen系列等离子体射频电源、Basalt系列匹配器等6个项目已实现产业化应用，Cedar系列射频电源系统部分机型进入小批量试产，射频大数据与决策系统V1.0版本已上线测试，其余项目处于样机验证、样品改造等阶段，所有项目技术水平均瞄准国际同类水准。
报告同时披露恒运昌面临四类重大风险：一是核心竞争力风险，包括技术迭代不及预期、技术人才流失与核心技术泄密、研发投入未达预期等风险；二是经营风险，包括市场竞争地位变化、客户集中、市场开发失败、产能不足（近三年产能利用率均接近或超过100%）、供应链不稳定等风险；三是财务风险，包括业绩波动、无法持续享受高新技术企业税收优惠等风险；四是行业风险，包括半导体行业周期波动、国际贸易摩擦加剧等风险。
