近日，屹唐股份在接受机构调研时表示，公司开发推出了新一代先进干法刻蚀设备RENA-E®，该设备已通过关键客户量产验证并获得客户重复量产订单，且已导入多家客户进行量产验证，客户需求在持续增长。
在等离子体表面处理和材料改性设备方面，公司开发的先进设备Escala®利用专利技术产生高浓度化学反应自由基，在低热预算下有效改善各种薄膜材料的性质和性能，广泛应用于存储器和逻辑半导体制造中金属薄膜电阻率降低、裂缝修复、增强钨薄膜选择性沉积、增强可流动化学气相沉积介质薄膜致密度等场景。该设备已通过多家关键客户技术验证并实现重复量产订单，客户需求持续增长，公司将持续推进该设备在更多客户进行量产验证。
在快速热处理设备领域，公司借助在高温快速热处理、等离子体源及超高产出设备平台等方面的技术积累，已开展新的研发工作，包括开发新一代常压快速热处理设备、先进低压快速热处理设备、新型快速热处理设备。报告期内，部分项目已完成产品开发，处于客户量产验证过程中。
除了上述已量产的新产品之外，为进一步提升公司在干法刻蚀及等离子体表面处理设备领域的可服务市场规模，公司目前已开展多项新型干法刻蚀及等离子体表面处理设备研发项目，部分项目已完成产品研发，即将开展客户端验证。未来，公司将继续加大研发投入，持续开发有市场竞争力的新产品，并积极向更多客户导入新产品，扩大可服务市场规模，实现平台化发展。
（校对/黄仁贵）
