2026年04月18日，芯源微发布《募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告》。报告显示，公司募集资金分为首次公开发行A股股票和2021年度向特定对象发行A股股票两部分。
2019年首次公开发行股票实际募集资金净额为505,744,103.78元，2025年度对募集资金项目投入0元，累计使用0元，支付银行手续费50元，专用账户利息收入4,269.03元，2025年12月31日余额为6,063,795.13元。
2021年度向特定对象发行股票募集资金总额999,999,928.71元，净额990,084,835.04元。2025年度对募集资金项目投入41,674,176.08元，用于高端晶圆处理设备产业化项目（二期）。累计使用41,674,176.08元，支付银行手续费948.93元，专用账户利息收入1,134,046.12元，理财收益1,636,624.68元，2025年12月31日余额为202,225,439.32元。
公司制定并修订了募集资金管理制度，对募集资金存储、审批、使用等做出明确规定。在资金管理方面，不同阶段募集资金均开设专项账户，并与相关银行和保荐机构签署监管协议，严格按照协议存放和使用资金。
2025年度，公司不存在募投项目先期投入及置换、用闲置募集资金暂时补充流动资金、用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款、超募资金用于在建项目及新项目或回购股份注销、节余募集资金使用等情况。2019年首募未使用闲置资金进行现金管理；2021年特定对象发行股票募集资金方面，公司分别于2024年4月26日和2025年4月25日审议通过相关议案，使用闲置资金进行现金管理，2025年度收益1,636,624.68元，截至2025年12月31日余额为0。
截至2025年12月31日，公司募集资金投资项目未发生变更，使用及披露符合相关规定，不存在违规情形。保荐机构认为，公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况符合相关法律法规及公司管理办法规定。
