2026年4月18日，芯源微发布《中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况的专项核查意见》。
募集资金基本情况方面，2019年首次公开发行股票，应募集资金总额5.66亿元，实际募集资金净额5.06亿元，已于2019年12月10日到位。2025年度，该笔募集资金对项目投入0元，年末余额606.38万元。2021年度向特定对象发行A股股票，募集资金总额9.99亿元，实际募集资金净额9.90亿元，于2022年6月8日到位。2025年度，该笔募集资金对项目投入4167.42万元，主要用于高端晶圆处理设备产业化项目（二期），年末余额2.02亿元。
募集资金管理上，公司制定并修订了《募集资金管理制度》。2019年首发募资开设了三个专项账户，2021年定增募资开设了多个专项账户，并分别签署了监管协议，均严格按规定存放和使用资金。
本年度募集资金实际使用情况，2019年首发募资无项目投入；2021年定增募资投入4167.42万元。本报告期内，公司不存在募投项目先期投入及置换、用闲置募集资金暂时补充流动资金、用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款、超募资金用于在建项目及新项目或回购公司股份并注销、节余募集资金使用等情况。2025年度，公司使用2021年定增闲置募集资金现金管理收益163.66万元，年末无投资产品余额。
截至2025年12月31日，公司募集资金投资项目未发生变更，使用及披露无违规情形。会计师事务所认为公司相关专项报告编制合规，保荐机构对公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况无异议。
