在半导体制造领域，温控设备是确保工艺精度和产品质量的关键环节。近年来，随着半导体产业加速向中国市场转移，国内涌现出了一批专注于温控设备的供应商。其中，安徽中科新源半导体科技有限公司（以下简称“中科新源”）凭借其在热电型半导体温控系统领域的技术创新和产品迭代，逐渐成为行业的佼佼者。在SEMICON CHINA 2025的展会现场，集微网有幸采访到中科新源CEO熊绎，并一起就公司产品优势、全球市场布局等话题进行了深入交流。

高精度温控：半导体制造的“隐形英雄”

相比传统的压缩型和热交换器型温控设备，热电型半导体温控设备凭借更高的精度和灵活性，更能满足半导体制造过程中的高精度控制需求。据行业专家预测，热电型温控设备有望在未来几年成为增长最快的半导体温控设备类型。

中科新源成立于2017年11月，专注于半导体应用领域的热电温控系统产品的研制。公司成立次年就推出了Z-3000/Z-6000和ZMO-500系列直冷机。截至目前，中科新源已形成覆盖半导体、5G通信、车载三大领域的热电温控产品矩阵，受到众多国内外客户的青睐和复购。

中科新源的产品具有高集成、高性能、低成本、低功耗、易安装等特色。以Z-6000半导体直冷机为例，该设备采用高集成度设计，拥有更便捷的故障排除和整机更换技术，主要适用于半导体晶圆厂的刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）工艺制程。

“Z-6000不仅响应快、绿色环保（无氟利昂、无噪音），还具备高精准度（控温精度±0.1℃）和高可靠性（MTBF＞5）等特性。”中科新源创始人兼CEO熊绎在接受采访时表示，“此外，Z-6000还是市面上体积最小的制冷机，功耗优势显著，较传统压缩机温控系统平均节能约80%。”

据熊绎介绍，采用Z-6000半导体直冷机替代传统方案，可为客户平均每年节省电费约3.5万元人民币，2至2.5年节省的费用足以购买一台全新的直冷机。

再以一体式通信机柜直冷机ST-1500为例，该设备主要面向数控机床、通讯设备等场景，具有高集成、高可靠、高效节能、精准温控、易安装等特点。根据上海铁塔辖属某基站实测数据，在春、秋季，针对普通中小型机柜，该产品在确保机柜内设备正常运行的前提下，月耗电量约为50kWh/台，即全年总耗电量约为1300kWh/台。比普通常规空调相比，每年可节省用电成本46%，相当于减少碳排放1吨/台，有效提升能源利用效率。

事实上，如上特性在中科新源旗下产品中广泛存在，且能针对不同的场景，为客户带来可观的降本增效效应。

创新驱动：持续的技术突破

随着以AI为代表的科技产品需求带动本土半导体国产化率提升，中科新源亦呈现陆续加大资本支出之势，促进产品和工艺的创新。仅2024年，公司就提交了10项发明专利申请，该年度获授权3项发明、2项实用新型专利，累计获授权专利达56项。

“公司专注于提升产品技术含量与差异化，保持在核心技术上的领先优势。”熊绎表示，其多项创新成果近期陆续取得突破性进展。例如，CP Test低温段直冷机K-245和5G通信空调均于2024年Q1开启项目导入，至2024年Q3即实现Beta版本量产交付；高功率光模块测试系统C-800和多模智能信号控制器D-1000均于2024年Q2开启项目导入，至2024年Q4即实现Beta版本量产交付。

得益于高性能、低功耗等特性，中科新源部分创新成果将于2025年进入爆发式收获期。根据厂家披露数据，对标德国Huber低温段压缩机的超低温直冷机，预计2025年交付量是2024年的5-10倍；TEC温控系统等产品也将实现大批量交付。

全球布局：做精密温控领航员

中科新源近年来业绩持续快速增长，这既得益于中国本土企业的支持，也离不开国际企业的助力。其大功率半导体制冷设备不仅得到士兰微、英诺赛科、华虹宏力、华润微电子、斯达半导、伟测科技等本土企业的采用，也广受台积电、SSMC、英飞凌、意法半导体、SilTerra、PSK等国际公司的青睐。

自2021年开始进军国际市场以来，截至2024年末，中科新源产品已销售至美国、新加坡、意大利、马来西亚等多个国家和地区，产品获海内外客户一致好评，并被中国半导体投资联盟授予“国际市场先锋奖”。

为构筑其全球化布局，中科新源在中国合肥总部中心的基础上，2023年在美国华盛顿卡默斯设立集研发、生产、销售、技术支持于一体的研发和制造中心，2024年又在新加坡设立技术服务中心，以更好服务全球客户。

根据计划，中科新源将于2025年深化全球战略布局，并重点开拓东南亚和美国市场。据熊绎介绍，极低的碳排放成效及显著的COO（Cost of Ownership）优势是中科新源产品广受国际大客户青睐的重要原因。例如，Z-3000/6000在节能减碳指标上达成ROI<1.5年，受到SSMC大批量复购；Z-6000经STMicro验证后，被大量应用于新加坡、意大利、中国等地工厂；Z-3000/6000也在GlobalFoundries验证后，进入该公司位于新加坡、德累斯顿、美国等地的工厂，预计相关产品今年交付量同比大幅增长。

未来展望：绿色创新与全球扩张

与此同时，中科新源还将在技术创新、产能提升、人才引进等三个方面加码全球化布局。公司将积极推进AI智能温控系统研发，继续引领行业技术变革；加速智能化生产线建设工作，从质量和效率两个维度提升公司产品竞争力；同时吸纳海内外高端研发人才，为公司的研发创新及产品品质保驾护航。

在新的一年里，中科新源一方面将继续进行绿色产品创新，加大研发力度，开发新一代更加节能的产品与技术方案，力争在节能设备及低功耗应用领域实现新的突破；另一方面将积极进行供应链绿色转型，在全球供应链布局中，全面推进绿色技术与环保措施，确保供应链的每一个环节都超越可持续发展的要求标准，同时助力上下游企业共同实现绿色转型目标。

在刚刚落幕的SEMICON China 2025展会上，中科新源向外界展示了大功率半导体直冷机Z-3000及Z-6000、半导体恒温槽ZMO-600、光模块热电温控系统C-800、超低温直冷机S-265以及一体式通信机柜直冷机ST-1500等全系列自研热电温控创新解决方案及尖端技术成果。

展望未来，熊绎表示：“公司将持续扩大产品的全球化市场占有率，力争成为全球精密温控系统引领者。”