第38届IEEE MEMS国际会议（IEEE MEMS 2025）近日在中国台湾省高雄市举行。本届IEEE MEMS会议上，中山大学发表的两项重要科研进展，均来自我院柯晴青教授研究团队。

微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS）作为当代微纳传感器制造领域的核心技术，其学术发展与技术创新始终引领着智能感知领域的革命性突破。作为该领域最具代表性的学术盛会，历经38载的发展，IEEE MEMS已成为全球规模最大、学术影响力最为卓著的MEMS领域顶级国际学术会议。

本届IEEE MEMS会议上，我院柯晴青教授研究团队发表的两篇成果题目分别为“Highly Sensitive Lithium Niobate-Based SAW Strain Sensor with On-chip Temperature Compensation”和“In-situ SAW/BAW Sensors based on P(VDF-TrFE) for Strain and Temperature Measurement”，是中山大学本届会议两篇入选的科研成果。我院柯晴青教授与罗华煌助理教授为通讯作者，博士研究生程春龙、李笑儒分别为两篇论文的第一作者。罗华煌助理教授作为研究团队代表，赴高雄参加本届IEEE MEMS会议。

第一篇文章报道了一种基于128°Y切铌酸锂的表面声波（SAW）应变传感器，该传感器能够激发三种声波模态：一阶瑞利波（R1）、漏纵波（LL）和二阶瑞利波（R2）。我们分别对R1与LL、R1与R2进行拍频处理，实现了SAW应变传感器在25-120 ℃ 的温度范围内的片上自适应温度补偿。对于R1与R2拍频，在0-800 με的测试范围内，实测应变与参考应变之间的最大相对误差仅为5.8%，表明所开发的SAW应变传感器基本消除了温度对应变检测的影响。此外，所开发的SAW应变传感器的灵敏度为284.07 Hz/με，比文献中所报道的具有片上温度补偿能力的SAW应变传感器高出两个数量级。该研究不仅实现了SAW应变传感器的片上自适应温度补偿，还显著提高了其灵敏度，推动了SAW应变传感器在高温和密闭空间等恶劣环境中的应用。

第二篇文章提出了一种基于P(VDF-TrFE)的原位SAW/BAW传感器，可直接集成在金属表面，实现高效的温度与应变传感。表征结果表明，P(VDF-TrFE)薄膜具有优良的压电性能。该传感器能够激发多种BAW模式，其中BAW模式3的温度频率系数（TCF）高达738 ppm/°C， 而SAW模式1的TCF更是达到745 ppm/℃。此外，该传感器在SAW模式1下表现出优异的应变传感能力，在7000 με的大量程范围内保持良好线性度，灵敏度达146 Hz/με。得益于P(VDF-TrFE)材料的高热膨胀系数和优异延展性，该传感器展现出高温度灵敏度与宽应变测量范围的双重优势，在结构健康监测（SHM）以及多功能、多模态传感应用领域具有广阔的前景。

IEEE MEMS作为年度学术盛典，会议采取美洲、欧洲和亚洲三大洲轮值举办机制，聚焦微纳加工与集成技术、智能微纳传感器与执行器、微系统集成等领域的重要研究成果，旨在展示全球顶尖科研机构在MEMS前沿技术及应用方面的突破性进展。本次会议于今年1月在中国台湾省高雄市举行。