天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“晶舟及半导体工艺设备”专利公布，申请公布日为2024年10月29日，申请公布号为CN118866781A。
本发明提供一种晶舟及半导体工艺设备，晶舟包括用于承载晶片的多个舟片，多个舟片平行且等间距设置，多个舟片分为多个片区，每个片区均包括多个舟片，不同片区的舟片相互绝缘，每个片区均具有与射频调节组件电连接的连接孔，不同片区的舟片能够通过不同的射频调节部件与射频源电连接，相邻的舟片电连接的电极极性相反。本发明提供的晶舟及半导体工艺设备，能够提高同一次工艺的多个晶片的镀膜厚度均匀性。
