康宁主要以其智能手机用加固玻璃而闻名,本周,康宁与美国商务部签署了一项初步协议,根据该协议,康宁将获得《芯片法案》提供的3200万美元补贴。
康宁制造各种玻璃材料来制造光掩模,例如高纯度熔融石英、超低膨胀(ULE)和极端(Extreme)ULE玻璃。ULE和极端ULE材料的一大优势是其极低的热膨胀,可确保在严苛的EUV环境中保持最大的一致性,并具有出色的均匀性,可减少光掩模的“波纹”,从而最大限度地减少电路变化。
康宁的ULE玻璃用于制造DUV和EUV光刻的光掩模,而Extreme ULE材料则有望用于下一代高数值孔径EUV光刻。
确保美国使用先进的DUV、低NA EUV和高NA EUV工具的公司能够获得制造光掩模的材料,对于整个行业以及英特尔、格罗方德、台积电、德州仪器和三星代工厂等公司来说都至关重要。
康宁的3200万美元资金将用于扩建其位于纽约州坎顿的制造工厂,以增加高纯度熔融石英 (HPFS)和Extreme ULE玻璃等专用材料的产量。该项目将增加130个制造岗位和175个建筑岗位。