天眼查显示，沈阳和研科技股份有限公司近日取得一项名为“一种划片机机芯组件X轴直线度的视觉检测系统及方法”的专利，授权公告号为CN118129650B，授权公告日为2024年7月16日，申请日为2024年5月9日。
本发明公开一种划片机机芯组件X轴直线度的视觉检测系统及方法，属于划片机机芯组件检测技术领域，包括驱动各轴的自动化工装、图像采集设备、转角电机、晶圆，驱动各轴的自动化工装与划片机机芯组件的各轴以及转角电机连接；驱动各轴的自动化工装安装图像截取保存及处理软件程序模块，图像采集设备安装在划片机机芯组件的Y轴上，图像采集设备用于将所采集到的图像传输给驱动各轴的自动化工装，通过图像截取保存及处理软件程序模块对图像进行截取和处理；转角电机安装在划片机机芯组件的X轴溜板上，晶圆安装在转角电机上方的旋转动力端。本发明替代了传统的大理石尺与千分表的测量方法，测量精度大大提高，可精确到1um以内。
