北方华创“半导体工艺设备及其传输腔室”专利公布

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天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司“半导体工艺设备及其传输腔室”专利公布,申请公布日为2024年4月5日,申请公布号为CN117832049A。

申请公开了一种半导体工艺设备及其传输腔室,属于半导体工艺技术。该半导体工艺设备的传输腔室包括腔室主体、机械手以及环状体,机械手的固定端与腔室主体的底壁固定连接;环状体设置于腔室主体的底壁上,且环绕机械手的旋转轴组件设置;环状体内沿周向间隔设置有多个气体通道,以用于向旋转轴组件喷射惰性气体。本申请的传输腔室,其可保证机械手的旋转轴组件的各个角度都能被惰性气体吹扫,以有效避免出现残留工艺气体进入到旋转轴组件内的磁流体密封结构中的情况,进而确保磁流体密封结构的密封性能及机械手的稳定使用寿命。


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