北方华创“电源控制方法和装置、半导体工艺设备”专利公布

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天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司“电源控制方法和装置、半导体工艺设备”专利公布,申请公布日为2024年4月5日,申请公布号为CN117832051A。

本发明提供一种电源控制方法和装置、半导体工艺设备,包括:开启待控电源;待控电源为上电极电源或者下电极电源;获取待控电源的反射功率信息;基于反射功率信息,获得保持待控电源开启的第一补偿时长;将待控电源的开启时长更新为设定开启时长与第一补偿时长之和;在到达更新后的待控电源的开启时长时,关闭待控电源。本发明提供的电源控制方法和装置、半导体工艺设备,可以提高晶圆间刻蚀的一致性,同时可以避免刻蚀量不足,提高产品良率。


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