北方华创“半导体腔室及半导体设备”专利获授权

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集微网消息,天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体腔室及半导体设备”的专利,授权公告号为CN220665444U,授权公告日为2024年3月26日,申请日为2023年7月27日。

本实用新型提供一种半导体腔室及半导体设备,半导体腔室包括:腔室本体;基座组件,基座组件具有用于放置圆晶的支撑面,基座组件可转动地设置在腔室本体内;磁流体组件,磁流体组件包括驱动件和固定件,固定件设置在腔室本体的外部,驱动件可转动地设置在固定件上,驱动件与固定件之间密封设置,驱动件自腔室本体外部穿设至腔室本体内部,驱动件与基座组件固定连接,驱动件用于带动基座组件转动;调平机构,调平机构设置在腔室本体的外壁上,固定件固定连接在调平机构上,调平机构用于改变磁流体组件的设置角度,以调节支撑面的角度。本实用新型的反应器极大简化了调平步骤,省时省力,大幅降低维护时间,提高生产效率。


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