天眼查显示,厦门市三安集成电路有限公司近日取得一项名为“一种声表面滤波器的键合方法及其键合结构”的专利,授权公告号为CN112350682B,授权公告日为2024年3月26日,申请日为2020年11月12日。
一种声表面滤波器的键合方法及其键合结构,涉及半导体技术领域。该声表面滤波器的键合方法包括在键合基板的上表面形成不透明的反射层;在高真空条件下,以预设压力将压电层通过反射层键合于键合基板上。该声表面滤波器键合方法能够有效降低失焦的风险。
天眼查显示,厦门市三安集成电路有限公司近日取得一项名为“一种声表面滤波器的键合方法及其键合结构”的专利,授权公告号为CN112350682B,授权公告日为2024年3月26日,申请日为2020年11月12日。
一种声表面滤波器的键合方法及其键合结构,涉及半导体技术领域。该声表面滤波器的键合方法包括在键合基板的上表面形成不透明的反射层;在高真空条件下,以预设压力将压电层通过反射层键合于键合基板上。该声表面滤波器键合方法能够有效降低失焦的风险。
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