敏芯股份推出医用及过程控制气体流量传感器

随着医疗领域发展以及流行性疾病的防治，多种医疗设备如呼吸机、制氧机、雾化器、麻醉机等走进人们的视野。

其中，常被人们接触的呼吸机就是一种可有效增加患者肺通气量，改善呼吸功能，减轻呼吸消耗，节约心脏储备的装置。随着越来越多的功能完备、同步性能良好、价格适宜且携带方便的家庭无创呼吸机的出现，呼吸疾病患者可以在家中接受机械通气治疗。

家用呼吸机通过给病人上呼吸道施加单一水平持续的正压或者双水平交替的正压，可以有效缓解病人睡眠过程中的打鼾、低通气和睡眠呼吸暂停症状等，从而达到治疗的目的。 

同理，制氧机、雾化器等因为小型化、便携化、智能化、多功能化的发展，同样实现了医院和家用等多场景使用的突破，为患者提供了极大的便利。

而这些医疗设备都离不开一点，就是必须对所用到的气体流量能够进行精准的测量把控，这就需要我们的医用及过程控制气体流量传感器根据病患的需要准确的测量所需的氧气、空气或麻醉气体等，结合设备本身的控制系统，调节相应的气阀，适时定量的提供所需的气体支持。

MF1250系列气体流量传感器采用创新的微机电系统（MEMS）质量流量传感器技术，是历经多年研制开发的一款医用气体流量测量或过程控制气体质量流量传感器模组。本产品具有高灵敏度、高精度、大量程比、无需温压补偿等特点。可广泛应用于呼吸机、制氧机、雾化器、麻醉机等多种医疗设备。

MF1250系列气体流量传感器使用的是敏芯股份独立自研的MFSL01型热膜式质量流量芯片，基于热交换原理的MEMS质量流量芯片：结构由位于敏感薄膜上的微热源、与微热源对称的上游温度传感器和下游温度传感器以及位于硅基上的环境温度传感器组成。

当芯片表面有流体流动时，流体对微热源有冷却效应，将从微热源带走一部分热量，从而导致微热源周围的温度场对称性被破坏。且气体的流速越大，气体从微热源带走的热量越多，微热源周围的温度的不对称性越大。上下游温度传感器产生温度差，温度差信号经转换和放大电路变成标准电信号输出，从而表示出流体的流速。具有高灵敏度、高可靠性、高稳定性等优点，宽动态测量范围，响应快速，可以适应各种洁净气体的流量测量。目前已经在汽车、燃气、工控、医疗等多种领域广泛应用。

相较于市面上的差压式气体流量传感器模组（测量输入输出端压力差来测量流量），使用热式质量芯片的气体流量传感器模组在测量微小气体时能表现出更高的灵敏度。以呼吸机为例，差压式流量模组可能在病患通气量较小时测不到流量变化，而热式流量模组却能够捕捉到微量的气体流量变化，给予病患最准确最及时的气体支持。

产品特点

1.高可靠性与长期稳定性。

2.精度高，重复性好，始动流量小，量程比宽，无机械磨损。

3.微功耗、响应速度快（典型值：5ms)。

4.本产品测量原理为热质量气体流量传感器量，不受温度及压力影响。

5.独特的整流器结构，能更好的改善流场扰动状况，降低了前后直管段长度。