盛美上海湿法设备4000腔顺利交付

集微网消息，2024年3月6日，盛美上海又迎来重要里程碑——湿法设备4000腔顺利交付。

盛美上海于2021年10月顺利交付湿法设备2000腔， 2022年11月突破3000腔，如今4000腔的里程碑也已达成。

盛美上海消息显示，盛美上海总经理王坚表示:“盛美的清洗设备可以做逻辑与存储90%以上的清洗工艺，我们可以期待很快湿法设备突破5000腔。”

盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立于2005年，是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业。集研发、设计、制造、销售于一体，为全球客户提供高端半导体设备。主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。（校对/韩秀荣）