日前,上海启元气体发展有限公司(以下简称:启元气体)与国内某半导体公司签订大宗气体供应协议,合同期限15年,启元气体将负责该客户大宗气站的建设和合同期限内大宗气体的供应以及系统的运行和维护。
启元气体从该客户建厂以来就是其超纯液氧的唯一供应商,这次合作是双方的第二次牵手,对双方均有重大意义。不仅仅标志着该客户在电子大宗气体国产化上的重大跨步,也标志着启元气体在集成电路行业的重大突破。
上海启元气体发展有限公司成立于2009年,以空分设备研发及制造起家,稀缺的“设计-生产-运营-维护”一体化企业。业务涵盖电子特气、电子大宗气体和半导体设备。公司具备自研高端稀有气体提纯设备及生产能力,并打造国内首套氪氙和氖氦分离设备,可供应超高纯氧、高纯氮、超纯二氧化碳、超纯氪气、氙气、氖气和氦气以及面板和半导体所需的准分子激光气等。
电子大宗气体包括氮气、氧气、氩气、氢气、氦气、二氧化碳、压缩干燥空气等。其应用广泛,涉及多个制造环节,如用作晶体生长气、蚀刻气、淀集气、平衡气以及外延气。电子大宗气体用途多,用量大,直接决定了最终芯片的良率和生产线的可靠性。
此外,据了解,氪、氙气是一种稀有的工业气体,在空气中的含量极为稀少,随着科技进步,其特殊的物理特性被广泛应用于半导体、航天、光伏能源、医学等领域,加之其分离提取工艺要求较高等原因,价格堪比黄金,因此又被称为“黄金气体”。(校对/项睿)