晶洲装备:国产首台精密掩膜版FMM工艺设备出货

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1月6日,苏州晶洲装备科技有限公司(以下简称“晶洲装备”)宣布,其国产首台精密掩模版(FMM)INVAR卷材工艺设备通过厂内验收,发运客户端即将投入生产。

据悉,FMM是OLED蒸镀工艺中的核心零部件,其主要作用是生产过程中沉积RGB有机物质形成像素。鉴于蒸镀工艺中对FMM材料热膨胀性能的高要求,材质常用因瓦合金,简称为INVAR。

晶洲装备称,其自主研发生产的国内首台INVAR卷材工艺设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元,具备将基材厚度管理至20μm以内水平。(校对/赵碧莹)

责编: 赵碧莹
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