北方华创：CCP介质刻蚀机已在5家客户完成验证并实现量产

作者：魏健 2022-08-15

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近日，北方华创发布消息称，公司NMC508 RIE介质（CCP）刻蚀机已在5家客户完成验证并实现量产。

据悉，NMC508 RIE介质刻蚀机采用多频射频技术，专为8英寸工艺设计的腔室与硬件，主要应用领域包括Logic、BCD、Power（Si/SiC/GaN）, MEMS等，提供包括逻辑器件、功率器件、化合物半导体等在内的多种特色工艺。此外，北方华创还可提供包括PVD、CVD、ALD、炉管、清洗等在内的8英寸设备。

北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，涉及等离子刻蚀设备（Etcher）、物理气相沉积设备（PVD）、氧化扩散设备（Oxide/Diff）等，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。（校对/韩秀荣）