集微网消息,招标平台信息显示,6月16日,南京理工大学激光直写无掩模光刻机曝光机采购项目评标结果公示。该项目为南京理工大学采购1套激光直写光刻机,拟中标供应商为矽万(上海)半导体科技有限公司,拟中标金额169.65万元。
据悉,公开招标评标小组推荐预中标候选人排序情况:
第一中标候选人:矽万(上海)半导体科技有限公司
第二中标候选人:合肥芯碁微电子装备股份有限公司
第三中标候选人:苏州苏大维格科技集团股份有限公司
此外,6月14日,合肥芯碁微电子装备股份有限公司中标广州广芯封装基板有限公司激光直接成像机(图形抗镀金干膜)项目,标的物为2台激光直接成像机(图形抗镀金干膜)。(校对/小北)