芯源微KrF涂胶显影机台入驻厦门士兰集科

作者：魏健 2022-06-13

来源：爱集微 #芯源微# #涂胶显影# #士兰集科#

6月10日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称：芯源微）12寸KrF涂胶显影设备顺利入驻厦门士兰集科。

图源：芯源微

芯源微官方消息显示，此次芯源微12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的顺利交付，将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务，为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供更为安全的供应链保障。此外，芯源微与士兰集科签署了战略合作协议。

值得一提的是，据集微网不完全统计，今年4月、5月，芯源微新增中标半导体设备共22台，涉及涂胶显影机、刷片机等。（校对/若冰）

责编：韩秀荣

来源：爱集微 #芯源微# #涂胶显影# #士兰集科#

THE END

*此内容为集微网原创，著作权归集微网所有，爱集微，爱原创

魏健

微信：v_-aurora

邮箱：weijian@ijiwei.com

专注于半导体，欢迎咨询沟通，weijian@ijiwei.com

1367文章总数

40.7w总浏览量