上海新阳：正在开展EUV光刻胶的前期研发工作

集微网消息（文/姜翠）5月22日，上海新阳在业绩说明会上表示，现在已开始进行EUV光刻胶的前期摸索性基础研发，主要进行EUV光刻胶的基础理论、形成机理、性能观察、配方筛选、制备方法等基础性研发工作。

上海新阳表示，公司对于光刻胶研发投入决心非常大，已进行全面布局，公司光刻胶ArF、ArF-i研发进展顺利，已经形成两个系列试验产品，样品已经进入客户端进行测试。

此外，上海新阳还披露了合肥基地最新进展情况。其表示，合肥是公司新建的重要生产基地，分两期建设。一期土建已经完工，目前在进行净房和机电工程建设，计划下半年进行设备安装调试，年底进入试生产的阶段。一期获批产能为17000吨，明年具备量产能力，但何时达到量产规模要看产品在客户端测试验证的进度。二期处在刚起步阶段，在进行项目设计和项目建设前期的各项报备审批环节。一期和二期都建成后，预计产能能满足公司未来5-10年的发展需求。

关于“疫情对于公司生产经营带来了那些影响”的问题，上海新阳回应称，疫情对公司业务整体有一定影响，半导体业务化学产品生产一直没停，设备产品停了一个多月，目前刚刚恢复生产。在物流、后勤保障和研发方面影响较大，三到五月，物流运输成本增加较多，这一情况估计还会持续一段时间。研发停了一个多月，目前在逐步恢复。疫情期间公司内部实行闭环管理，保证了复工复产的顺利进行。

（校对/Andy）