集邦:ASML工厂火灾恐冲击EUV相关的光学零组件供应

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ASML在德国柏林的一家工厂于1月2日发生火灾,据市调机构集邦咨询(TrendForce)初步调查结果显示,占地32,000平方米的厂区中,约200平方米厂区受火灾影响,该厂区主要制造光刻机中所需的光学相关零组件。

集邦咨询指出,目前该厂零组件以供应EUV机台较多,且以晶圆代工的需求占多数。若届时因火灾而造成零组件交期有所延后,不排除ASML将优先分配主要的产出支持晶圆代工订单的可能性。

此前ASML发文称,目前就损害或是否会影响其生产计划发表声明还为时过早,公司计划花几天时间进行调查并做出全面评估。

(校对/LL)

责编: 李梅
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