近日，据韩媒thelec报道称，ASML CEO彼得·温宁克(Wennink)表示，公司计划今年生产约40台极紫外光（EUV）设备，到2022年将扩大到55台，到2023年将扩大到60台。而EUV设备交货时间也将从之前的18个月缩短到12到18个月。
据了解，ASML是唯一一家生产用于高端晶圆制造的EUV设备供应商。这些设备每台耗资1500亿韩元-2000亿韩元（8.44-11.26亿元人民币）。ASML从德国公司采购设备所需的镜头。然而，它每年可以购买的镜头数量有限，这导致设备生产时间较长。
该报道称，台积电和三星分别是全球最大的和第二大制造公司，它们一直在使用EUV设备进行7纳米或以下芯片的先进微晶加工。
英特尔最近表示，它也计划使用EUV设备，而三星和SK Hynix现在都使用EUV生产DRAM。Micron还表示，计划从2024年开始将EUV应用于DRAM生产。
温宁克表示，其三大DRAM客户都计划使用EUV进行批量生产，预计2021年这些公司将花费12亿欧元购买EUV设备，未来向这些公司供应的EUV设备将会增加。
同时，ASML也开始生产其名为NXE 3600D的新型EUV设备。与前代3400C相比，该设备的生产率提高了15% 到20%，叠加率提高了30%。该公司表示，从2022年起，所有EUV设备将达3600D。
与此同时，ASML第二季度的销售额为40亿欧元，净利润为10亿欧元，分别比2020年第二季度增长20%和38%。温宁克表示，公司预计2021年的销售额将比2020年增长35%。（校对/LL）
