“上海设计100+”公布,上海微电子高亮度LED步进投影光刻机入选

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5月17日,上海信息消费节开幕式暨“上海信息消费云峰汇”举行,活动上首届“上海设计100+”产品发布,上海微电子高亮度LED步进投影光刻机入选“上海设计100+”。

图片来源:上海微电子

上海微电子官方消息,该高亮度LED步进投影光刻机是中国首台面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域的光刻机产品,可满足HB-LED等领域单面或双面的光刻工艺需求,解决了LED产业大翘曲蓝宝石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高产率的光刻需求,且支持蓝宝石键合片特殊工艺。

2020年初,上海市经信委启动了首届“上海设计100+”征集工作。围绕国际设计之都、时尚之都、品牌之都建设,推进设计、时尚、品牌三个100+工程。(校对/小如)

责编: 赵碧莹
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