长鑫存储量产第五代平台,实现微缩工艺突破

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9月20日,长鑫存储在世界制造业大会上宣布第五代DRAM技术平台(G5平台)实现量产。据了解,该平台的工艺水平已可比肩行业顶尖量产工艺节点。

依托四重曝光技术,G5平台可把内存阵列的有源区半间距微缩至11.95纳米,接近全球最顶尖的内存量产平台制程。通过变革工艺流程、采用新材料,存储电容深宽比达45:1。开发适配DRAM工艺的高介电常数金属栅(HKMG)工艺,成功将G5平台核心功能区高度缩小到6762纳米。此外,G5微缩工艺还可以有效提高存储芯片的密度,每片晶圆产出裸片数量较第四代平台提升至少50%。

此次大会上,长鑫存储还同步展出了两款基于G5平台打造的LPDDR5X量产产品,单颗容量均为24Gb,较上一代同类型产品提升50%。


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