近日，有投资者在投资者互动平台提问：半导体臭氧在半导体设备中的应用会是先进制程的发展趋势吗？
北方华创(002371.SZ)8月11日在投资者互动平台表示，半导体制程演进始终围绕工艺精度、器件性能与量产成本的综合平衡展开，臭氧相关工艺是先进制程技术体系中的探索方向之一，行业整体呈现多技术路线并行、分场景适配的发展特征。
作为国内半导体装备领域的领军企业，北方华创长期聚焦高端半导体工艺装备的技术研发与产业化落地，目前已构建起覆盖刻蚀、PVD、CVD、氧化/扩散炉等核心设备的全品类产品矩阵，相关装备广泛应用于集成电路、先进封装、功率半导体等多个前沿领域。其中，公司旗下氧化/扩散炉等热工艺设备可适配臭氧相关工艺的研发与量产需求，立式炉产品已实现氧化、扩散等多类工艺覆盖，在中芯国际、长江存储等国内主流晶圆厂实现大规模量产，国内市场份额达到15%-25%。近年来，公司持续加码先进制程相关技术的研发投入，2025年研发费用达54.35亿元，同比增长46.96%，累计申请专利超11300件，授权专利超6500件，多款核心设备的工艺指标达到国际先进水平，为国内半导体制程技术的多路线探索提供了稳定的装备支撑。
截至发稿，北方华创市值为5414.37亿元，股价为746.10元/股，较前一日收盘价下降1.83%。
