国内首条全流程自主光刻胶产线正式投产!

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近日,鼎龙股份在机构调研中回应,半导体材料领域的产品线布局及进展情况,主要包括晶圆光刻胶、CMP配套材料、先进封装材料和显示材料产品线。

晶圆光刻胶方面,公司潜江二期KrF/ArF高端光刻胶量产产线正式投产,年产能300吨,叠加一期产能后总产能升至330吨。产线实现树脂等核心原料自主生产,配方与工艺自主可控。目前,鼎龙股份表示已研发40余款高端晶圆光刻胶,近30款在客户端同步验证,其中8款ArF及KrF产品已获多家主流晶圆厂批量供货,多款新品预计年内完成订单转化。同步布局BARC、SOC等配套材料,搭建完整自主供应链体系。

CMP配套材料方面,鼎龙股份抛光垫已实现规模化产业化,多款适配铜阻挡层、大硅片、碳化硅衬底、TSV工艺的专用抛光液通过头部晶圆厂全流程验证并获批量订单;仙桃抛光液产业园产线稳步建设,研磨粒子实现自主配套,CMP材料一体化供应能力持续完善。此外,面向玻璃基板、超大尺寸应用场景的新一代抛光垫研发及客户送样有序推进,潜江三期抛光垫产线已开工建设,提前布局新兴应用赛道需求。

先进封装材料方面,公司封装PI材料已布局7款产品,其中2款获得多家客户订单;临时键合胶在现有客户稳定规模化出货基础上,持续深化市场拓展与多场景应用推广。

显示材料方面,鼎龙股份PSPI、TFE封装墨水等产品实现G8.6高世代产线批量供货;YPI产线完成升级试运行,配合面板厂商开展新项目工艺认证。(校对/赵月)

责编: 李梅
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