据国科嘉和消息，近日，费勉科技（上海）股份有限公司（以下简称“费勉科技”）完成数亿元C轮融资。本轮融资由复容投资、复旦科创、工业母机基金、元禾璞华、深创投等十余家国家级产业资本和知名机构共同参与，资金将主要用于研发投入、专利布局、产能提升及市场拓展、组织建设等。
费勉科技创立于2012年，总部位于上海，致力于利用底层的科学原理，为全球学术及研究机构、工业客户等，提供新技术、新工艺及新材料等领域的整体解决方案。该公司拥有健全、稳定的技术团队和管理团队，在学术界及工业领域都有深入而广泛的合作，并已获得上海市高新技术企业、上海市专精特新企业、上海市科技小巨人培育企业等多项荣誉，是一家高端仪器设备商。
经过十余年持续深耕，费勉科技在超高真空、精密温度控制、薄膜制备和等离子技术四个核心领域建立了完全自主可控的底层技术能力，累计获得专利超过200项，是国内少数实现全链条自主可控的高端仪器设备企业。
据悉，这四项技术对应先进电子材料从基础研究到工艺生产中的关键瓶颈。超高真空技术决定材料制备环境的纯净度，精密温度控制影响材料物性测试和生长过程，薄膜制备能力关系到半导体和光电子器件制造的核心工艺，而等离子技术则广泛用于表面处理、刻蚀和材料改性等场景。
四大技术底座之上，费勉科技已形成科学仪器、等离子技术、半导体薄膜、工业量测四条成熟产品线，构建起从实验室到规模化产线的完整产品矩阵。
在科学仪器产品线，费勉科技的超高真空互联系统、量子材料制备系统等，已服务于清华、北大、复旦、中科院等顶尖科研机构。
在等离子技术领域，该公司自主研发的高亮度紫外光源、紫外光辐照测试系统、紫外光元件测试系统等产品，广泛应用于半导体量检测和研发测试等产业前沿领域。其中一款紫外光源更是成功替代了当年让团队“憋屈”的进口产品。
在半导体薄膜产品线，晶圆级MBE系统、超高真空解理镀膜系统等产品对标国际巨头，已批量交付国内头部半导体企业，在5G通讯、红外探测、激光雷达和量子计算等前沿领域发挥关键作用。
