2026年04月18日，芯源微电子设备股份有限公司发布关于使用剩余超募资金永久补充流动资金的公告。
经中国证监会同意注册，公司2019年首次公开发行股票，募集资金总额56,637.00万元，净额50,574.41万元，超募资金12,795.44万元，于2019年12月10日到位。募投项目为高端晶圆处理设备产业化项目和研发中心项目。
此前，公司多次使用部分超募资金永久补充流动资金，还曾用超募资金回购公司股份。本次公司拟使用剩余超募资金6,064,553.10元（含利息等，以转出当日专户余额为准）永久补充流动资金，占超募总额4.74%，使用后超募资金账户余额为0元，将注销相关专户。该事项已经董事会审议通过，尚需股东会审议。
公司承诺每12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金不超总额30%，使用后12个月内不进行高风险投资及为控股子公司以外对象提供财务资助。保荐机构对本次事项无异议。
